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沉积系统
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简要描述：等离子沉积设备低刻蚀速率，高击穿电压，低应力、不损伤衬底以及在低于100#176;C的沉积温度下的低界面态密度，使得所沉积的薄膜具有优异的性能。
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主营产品：
显微镜，激光共聚焦，电镜，x射线，激光捕获显微切割，荧光成像系统，DNA/RNA合成仪，半导体行业仪器设备，生命科学仪器，光刻机，
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