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工业半导体三维加工系统Quantum X shape

  • 产品型号:
  • 更新时间:2024-10-10

简要描述:工业半导体三维加工系统Quantum X shape是综合能力出众的多面手。该激光光刻系统是
基于双光子聚合技术,配备上Nanoscribe为其量身定制的加工工
艺,使其可以完成2.5D和3D形状的亚微米级别的细节精度和形状
精度快速手板定制,甚至是晶圆级批量生产。

产品详情

工业半导体三维加工系统Quantum X shape是Nanoscribe公司推出的一款高精度3D打印系统,该系统基于双光子聚合技术(2PP),在3D微纳加工领域拥有的精度和广泛的应用潜力。以下是对QuantumXshape产品的详细介绍:

一、技术特点

高精度打印QuantumXshape可实现纳米尺度的打印,在任意空间方向上的特征尺度控制可达100nm,同时表面粗糙度(Ra)小于5nm。这种高精度得益于其体素调制比和超精细处理网格,实现了亚体素的尺寸控制。

高速加工:该系统具备超快体素控制和100nm处理网格的高速3D微纳加工能力,结合优良的振镜轨道控制,保证了快速扫描速度下的轨迹准确度。

自动化与智能化QuantumXshape配备了自动滴胶模组和自动化自校准路径,保证了高精度激光能量控制及定位。同时,系统集成的触控屏和远程访问软件nanoConnectX,使得用户可以方便地控制打印作业,实现远程监控和多用户配置。

二、应用领域

工业半导体三维加工系统Quantum X shape不仅适用于生物医学、微光学、MEMS、微流道、表面工程学等领域的快速原型制作,还成为基于晶圆的小结构单元的批量生产的简易工具。其高精度和灵活性使得它在多个科研和工业领域具有广泛的应用前景。

三、主要优势

设计自由度QuantumXshape可打印几乎任何2.5D和3D微纳结构,提供了的设计自由度。

高效生产:该系统具备高效的生产能力,过夜效率可达200个特征结构,适用于大规模生产需求。

兼容性强QuantumXshape支持多种打印材料,包括通用高性能双光子聚合材料以及高分子和玻璃等,同时兼容自主及第三方打印材料。

四、系统配置

QuantumXshape作为一款直立式打印系统,具备光敏树脂自动分配功能,非常适合标准6英寸晶圆片的工业批量加工制造。其先进的激光焦点轨迹控制和自校准程序,确保了打印作业的可靠性和准确性。

五、总结

QuantumXshape是Nanoscribe公司推出的一款集高精度、高速加工、自动化与智能化于一体的3D打印系统。它在3D微纳加工领域展现了的性能和广泛的应用潜力,为科研和工业生产提供了强有力的支持。


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